中文名称：乙基三氯硅烷

中文别名：三氯乙基硅烷

英文名称：trichloro(ethyl)silane

英文别名：thyltrichloro Silane; Ethyltrichlorosilane

CAS号：115-21-9

EINECS号：204-072-6

分子式：C2H5Cl3Si

分子量：163.5056

密度：1.243g/cm3

沸点：100°C at 760 mmHg

闪点：19.6°C

蒸汽压：43.1mmHg at 25°C