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二氯硅烷

二氯硅烷

用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅

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用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅

中文名称: 二氯硅烷

英文名称: Dichlorosilane

英文别名: Silane, dichloro-; Silicon chloride hydride; Dichlorosilane [UN2189] [Poison gas]; UN2189; dichlorosilicon

CAS号: 4109-96-0

EINECS号: 223-888-3

分子式: Cl2Si

分子量: 98.9915

熔点: -122℃

沸点: 8.3°C at 760 mmHg

水溶性: decomposes

蒸汽压: 1360mmHg at 25°C