康迪斯化工(湖北)有限公司
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅。
中文名称: 二氯硅烷
英文名称: Dichlorosilane
英文别名: Silane, dichloro-; Silicon chloride hydride; Dichlorosilane [UN2189] [Poison gas]; UN2189; dichlorosilicon
CAS号: 4109-96-0
EINECS号: 223-888-3
分子式: Cl2Si
分子量: 98.9915
熔点: -122℃
沸点: 8.3°C at 760 mmHg
水溶性: decomposes
蒸汽压: 1360mmHg at 25°C