中文名称：三甲基一氯硅烷

中文别名：三甲基氯硅烷; TMCS

英文名称：Chlorotrimethylsilane

英文别名：Trimethylchlorosilane; Trimethylsilyl chloride; Trimethylchlorsosilane; TMS chloride; TMCS

CAS号：75-77-4

EINECS号：200-900-5

分子式：C3H9ClSi

分子量：108.6421

性状 无色易挥发易燃液体。

熔点 -57.7℃

沸点 57.7℃

相对密度 0.8580

折射率 1.3885

闪点 27.8℃

溶解性 溶于苯、乙醚和全氯乙烯。