中文名称：三甲基乙氧基硅烷

中文别名：乙氧基三甲基硅烷; TMEOS

英文名称：Trimethylethoxysilane

英文别名：Ethoxytrimethylsilane; TMEOS

CAS号：1825-62-3

EINECS号：217-370-6

分子式：C5H14OSi

分子量：118.2496

密度：0.772g/cm3

沸点：75.5°C at 760 mmHg

水溶性：reacts

蒸汽压：115mmHg at 25°C